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真空壓差閥是真空系統(tǒng)中的一種調(diào)節(jié)控制裝置。它主要是利用內(nèi)部的機(jī)械部件或電子裝置，來控制真空系統(tǒng)內(nèi)的氣體壓力和氣體流量。真空壓差閥廣泛應(yīng)用于真空系統(tǒng)中。在半導(dǎo)體工業(yè)、真空干燥箱、真空噴涂、真空冷凍等領(lǐng)域都有應(yīng)用。 真空壓差閥還可以用于真空制氧、真空制氫、真空保護(hù)氣體等其他領(lǐng)域。
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